1结构

气体质量流量计由流量传感器( Sensor )，分流器通道和流量放大电路等部件

组成；在气体质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID 控制电路就构

成了气体质量流量控制器。M 系列气体质量流量控制器，结构如下图所示:

M2030气体质量流量计与M3030型气体质量流量控制器相比，在结构上它

们的不同点是，M2030气体质量流量计少了电磁调节阀（Solenoid Valve），

其它部分基本相同。

2工作原理

流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量（无需温度压

力补偿）。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的

流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀

门，闭环控制流过通道的流量使用之与设定的流量相等。分流器决定主通

道的流量。与之配套的FM-30VE 系列Readout Box上设置有稳定电源，3

位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。相控

制器与流量显示仪连接后的工作原理如下图所示。

控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比，满量程（F.S）流量检

测输出电为＋5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是（2~100）％F.S ( 程比为50:1 )，流量分辨率是0.1％ F.S。

注意：

当气体质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时，也可以当气体质

量流量计使用。在做气体质量流量计使用时，流量检测电压的输出值最大可能达

＋10V 以上，不过要注意，当流量超过满量程值（+5V）流量检测电压与通过的

实际流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示不准确，还可能出现流量增大显

示反而减小的异常现象，但并不会对气体质量流量计本身造成损伤。

3 安装和接线

3.1 外形及安装尺寸

M3030V M3030A 型MFC 产品的外形和安装尺寸如图4 所示

图4. M3030V 型MFC 外形尺寸图

注意 : 图中的高度138mm 是不加电缆插头的高度。

安装位置 ：建议MFC 或MFM 最好保持水平面安装，但对位置并没有特别要

求，非水平安装时若发现零点偏移，请调整零点后再进行。如用户订货时事先注

明安装位置，本公司也可依据用户希望的安装位置进行调整后出厂。

3.2 气路接头形式

可提供5 种尺寸接管外径的接头类型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO

一般用金属管将质量控制器与气路相连接， 注意流量计通道上的箭头指示的方

向是气流方向，进出气方向不能接反。

4注意工作压差

对于气体质量流量控制器和气体质量流量计要特别注意工作介质的气压，，

应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。进气口压力与出

气口的压力之间的压差在5psi～3Kg/cm2 ，但是为了使本产品能够发挥最佳的

工作状态其进气口压力与出气口的压力之间的压差应在3Kgs . MFC特别是在

高压下工作时，气压差过大，流量将无法关闭或调小。在使用大流量的气体质量

流量控制器时，要注意适当加粗管道和减小气源内阻，若工作压差小于要求值，

有可能流量达不到满量程值。

5 标定的不同气体的换算方法

本气体质量流量控制器和气体质量流量计出厂通常用氮气（N2）标定。如要

使用其它气体标定，则需要在订货时与本公司销售人员特别提出。

用氮气（N2）标定的气体质量流量控制器和气体质量流量计 用户使用其它

气体时，可以通过转换系数进行换算，算出被使用气体的流量。将气体质量流量

控制器 or气体质量流量计显示出的流量读数，与某使用气的转换系数相先乘，

即得该被测气体在标准状态下的质量流量。

使用转换计算：

实际流入的气体的系数

实际气体流量 ＝ 气体显示读数 x

标定的气体系数

例) 本气体质量流量控制器标定为氮气（N2）

假设使用的气体是二氧化碳（CO2）。

当二氧化碳（CO2）流入时，读出的数据为75 sccm ,