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劳易测传感器技术助力天车搬运系统(OHT)应用

http://www.gkong.com 2024-06-17 09:48 来源:劳易测

随着半导体行业的不断发展,制造商面临着提高生产效率和降低成本的挑战。天车搬运系统(OHT)是半导体制造厂中一种重要的自动搬运系统,通过提高物料运输效率,降低人力成本和减少污染风险,改善整体生产流程。

那有关天车搬运系统(OHT)大家了解多少呢?

“OHT”是 Overhead Hoist Transfer 的缩写。主要的搬运移载部件为:晶圆加载机 (LPU, Load-Port Unit) 以及前开式晶圆传送盒 (FOUP , Front Open Unified Pod),而整个OHT搬运系统的组成部分示意为如图:

而在这样高效而复杂的自动化设备上,作为传感器专家的劳易测,又有哪些独到的产品可以发挥作用呢。

BPS 8条码定位系统

助力OHT设备精准定位

  • 工作距离60~120 mm,紧凑型的设计,仅60mm的盲区,特别适用于紧凑型设备;
  • 定位范围0~10,000,000mm,配合高质量的BCB条码带可充分满足行走距离要求;
  • 兼容设备4m/s的移动速度,充分契合OHT设备3m/s的最大速度需求;
  • 5VDC/24VDC(适用MA8适配模块)多种电压范围适合不同电子设备供电要求;
  • RS232/RS485及Modbus数据输出方式,给您提供更多数据选择;
  • BCB 条码带有标准25mm高度和47mm高度可选,提供定制高度及长度的服务。

CR 100经济型固定条码阅读器

配合单体条码附件,可实现OHT小车经济型定位和换速信号获取

  • 工作距离15~67 mm,小巧的设计特别适用于紧凑型设备;
  • 700Hz的扫描频率,配合单体条码附件满足高速运行设备要求;
  • 5VDC供电要求,更贴PCB控制板电路设计;
  • RS232数据输出方式,适合单机设备使用。

PRK 3C系列传感器

稳定检测,分毫不差

在通用OHT小车上,需要有稳定检测FOUP存在状态的光电传感器。PRK 3C高性能光电传感器,实现稳定检测的同时,保证快速响应的需求,以及条码阅读产品的高速触发。

  • 带偏振光镜片的镜反射光电传感器,保证检测稳定性;
  • PRK3C.A3同轴光式传感器,“0”盲区,即使和反射板贴得再近也有效;
  • 1500Hz扫描频率,高速运动设备的首选;
  • IO-Link的调整功能,可以使参数设定一致性更佳,智能化领先一步。
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