英国renishaw激光干涉仪，现在主要为XL80系列，主要性能指标如下：
激光头XL-80
尺寸（重量） 214 mm × 120 mm × 70 mm(1.85 kg)
电源外部电源，90-264 VAC，
自动适应
系统测量能力线性、角度（加回转轴）、
平面度、直线度和垂直度
激光输出
接口内置USB连接，无需单独
接口
TPin（触发信号） 是
正交信号输出是（工厂设定）
模拟电压输出是
信号强度LED指示灯是
XL激光系统以组件的形式提供，包括
• XL激光装置
• USB电缆
• 电源和电缆
• 辅助I/O接头
• 系统手册 (CD-ROM)
系统性能
线性测量距离80 metres
线性测量精度±0.5 ppm
激光稳频精度±0.05 ppm
分辨率1 nm
最高移动速度4 m/s
动态采集频率10 Hz – 50 kHz
预热时间< 6分钟
环境温度0 °C – 40 °C
储存温度范围-25 °C – 70 °C
环境传感器
范围精度
材料温度 0 °C – 55 °C ±0.1 °C
